低真空掃描電子顯微鏡(LowVacuumScanningElectronMicroscope,LVSEM)是一種利用掃描電子顯微鏡(SEM)技術(shù),在較低的真空環(huán)境下進(jìn)行樣品成像和分析的顯微鏡。與傳統(tǒng)的高真空SEM不同,低真空SEM不需要對樣品進(jìn)行金屬涂層處理,因此適用于更廣泛的樣品類型,特別是那些不適合高真空環(huán)境或易受金屬涂層影響的樣品。低真空SEM的工作原理低真空SEM通過減少系統(tǒng)內(nèi)的真空壓力來實(shí)現(xiàn)成像。其工作原理和傳統(tǒng)SEM相似,但低真空環(huán)境下,電子束與樣品表面相互作用時(shí)...
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